정부출연 연구기관과 민간 기업이 협력해 전량 일본에서 수입하던 반도체 공정 코팅 소재를
국산화하는 데 성공했습니다.
국가핵융합연구소는 미세 분말 상태에서도
뭉치지 않는 용사 코팅 소재 `이트륨 옥사이드`를 국내 기업과 함께 최초로 제조했다고
밝혔습니다.
이트륨 옥사이드는 반도체 공정 장비에 필요한 소재지만 전량 일본에서 수입해 쓰고 있는
상황으로 국내 연구진이 제조한 용사 코팅
소재는 입자 크기나 균일성 등에서 일본 소재를
뛰어넘는 것으로 평가되고 있습니다.
