기존에는 볼 수 없었던 반도체
소자 안에서의 빠르고 불규칙적인
움직임을 관측할 수 있는
초고속 카메라 기술이 개발됐습니다.
한국연구재단 김원원 교수 연구팀은
반도체 소자 내의 초당 2.6억 개 픽셀의
높낮이 차이를 30억 분의 1미터 수준까지
측정할 수 있는 초고속 카메라 기술을
개발해 광학분야 국제학술지
'빛, 과학과 응용'에 게재됐습니다.
연구팀은 점점 고도화, 집적화 되는
반도체 공정과 3D 프린팅 과정을
실시간 관찰·제어해 공정 수율을
크게 높이고, 향후 복잡한 물리 현상을
탐구할 차세대 계측 기술로 발전할 것으로
기대했습니다.
