'사진으로 반도체 결함 실시간 검사' 장비 개발

한국표준과학연구원이 3차원 반도체 소자

결함 여부를 사진을 통해 실시간 검사하는

장비를 개발했습니다.



이 장비는 반도체에 3차원 나노 소자를

통과시켜 입사각과 파장, 편광 상태에 따른

반사율 등의 정보를 바탕으로 결함 여부를

신속하게 가려낼 수 있습니다.