'사진으로 반도체 결함 실시간 검사' 장비 개발한국표준과학연구원이 3차원 반도체 소자 결함 여부를 사진을 통해 실시간 검사하는 장비를 개발했습니다. 이 장비는 반도체에 3차원 나노 소자를 통과시켜 입사각과 파장, 편광 상사진반도체결함실시간검사한국표준과학연구원고병권2020년 02월 12일