한국기계연구원 고준석 박사
연구팀이, 반도체 제조공정에서 
발생하는 열을 영하 120도 이하의 
냉각유체로 식히는 산업용 
냉각장비를 개발했습니다.

이 장비는 지구온난화지수가 0인 질소를
압축하고 팽창시키는 방식으로
30분 이내에 영하 120도 이하로 냉각합니다.

연구팀은 핵심부품부터 시스템까지 국산화해
국내 기업에 기술이전을 마쳤으며,
이 기술이 반도체 미세공정은 물론
다양한 극저온 산업 분야에 활용될 것으로
기대했습니다.