반도체 공정 소재의 감초인 불소계 실리콘의
특허출원이 증가한 가운데, 일본에 뒤처진
핵심 특허 개발이 시급한 것으로 나타났습니다.
특허청은 최근 10년간 불소계 실리콘 관련
특허출원이 189건에 달했으며, 최근 5년간은
AI 반도체와 사물인터넷 등에 다양하게 쓰이는
박막 용도가 44%로 가장 많았다고 밝혔습니다.
출원인은 일본 기업이 46%로 34%인
국내기업보다 많았으며, 특히 박막 용도에서는
일본 기업이 국내보다 2배 이상 많아
핵심 특허 개발이 시급하다는 지적이 나옵니다.
